Kurz optické litografie – základní příprava mikrostruktur
Abstract
The aim of this course is to give you an overview of all common lithography techniques used in micro- and nanofabrication, their basic principles, advantages and disadvantages, and their main application areas. After finishing this course, you should know the most common terminology used in nanolithography and be able to select the appropriate lithography technique for your application.
Full text
Přihlášení pro kontrolu kurzů projektu NPO Kurz Základy litografie/ Lithography basics (pro MŠMT a VUT v Brně) Pro kontrolu obsahu kurzů financovaných z projektu NPO je třeba se přihlásit do vzdělávací aplikace Moodle, kde byl zřízen manuální účet: https://cfmoodle.ceitec.vutbr.cz/login/index.php?saml=off username: npo heslo: NPOmsmt23. (pozor na tecku na konci) Licence CC BY-SA
Kurz Lithography basics je v aplikaci Moodle umístěn v sekci obecných školení, oblast Micro a Nanofabrikace: General training / Microand Nanofabrication Výběr kurzu Lithography basics:
Obsah a sekce kurzu Lithography basics: