scieee AI-readable full text Open interactive document viewer

Kurz elektronové litografie – příprava nanostruktur

Radim Hrdý, Vojtěch Švarc

Abstract

This course teaches how to handle lithographic chemicals. It lists positive and negative resists for EBL and DWL, and recommends developers, solvents, and removers/strippers. You will learn how to develop a resist, and what glassware and fumehood you should use.

Full text

Přihlášení pro kontrolu kurzů projektu NPO Kurz Práce s chemikáliemi pro litografii/ Working with lithography chemicals (pro MŠMT a VUT v Brně) Pro kontrolu obsahu kurzů financovaných z projektu NPO je třeba se přihlásit do vzdělávací aplikace Moodle, kde byl zřízen manuální účet: https://cfmoodle.ceitec.vutbr.cz/login/index.php?saml=off username: npo heslo: NPOmsmt23. (pozor na tečku na konci) Licence CC BY-SA Kurz Working with lithography chemicals je v aplikaci Moodle umístěn v sekci obecných školení, oblast Micro a Nanofabrikace: General training / Microand Nanofabrication Výběr kurzu Working with lithography chemicals: Obsah a sekce kurzu Working with lithography chemicals: