Kurz přípravy MEMS – mikro elektro mechanických součástek
Abstract
This course aims to provide an overview of the basic theoretical knowledge in dry etching, which is used to create Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS ). You will learn about the principles of etching, basic terminology, types of plasmas used for etching, differences between dry and wet etching, etc.
Full text
Přihlášení pro kontrolu kurzů projektu NPO Kurz Přípravy MEMS/ Dry etching for MEMS structure (pro MŠMT a VUT v Brně) Licence CC BY-SA Pro kontrolu obsahu kurzů financovaných z projektu NPO je třeba se přihlásit do vzdělávací aplikace Moodle, kde byl zřízen manuální účet: https://cfmoodle.ceitec.vutbr.cz/login/index.php?saml=off username: npo heslo: NPOmsmt23. (pozor na tečku na konci)
Kurz „Dry etching for MEMS structure“ je v aplikaci Moodle umístěn v sekci obecných školení, oblast Micro a Nanofabrikace: General training / Microand Nanofabrication Výběr kurzu „Dry etching for MEMS structure“
Obsah a sekce kurzu „Dry etching for MEMS structure“: